真空物理濺鍍系統

型號
　　于太
功能
  1. 真空度：~10-7torr
  2. RF power supply：Maximum power = 600W
    DC power supply：Maximum power = 500W
  3. 自動壓力控制節流閥
  4. 超高純度Ar純化器
  5. 石英震盪膜厚計
  6. 流量控制器
應用
　　本濺鍍機可濺鍍金屬或陶瓷薄膜於加熱或未加熱的基版上。

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