小型真空電弧熔煉爐
高真空熱處理爐
熱處理爐
真空物理濺鍍系統兩套
紅外線快速加熱爐兩套
真空石英封管
熱處理油浴爐兩套
快速精密切割機三台
試片研磨機兩台
拉伸試驗機一台
鑲埋機一台

分析設備

光學顯微鏡及照相設備
光譜儀

電阻量測

微差掃瞄熱差分析儀(DSC)
動態機械分析儀(DMA)
微量天平
示波器
薄膜厚度量測之α-step一台