離子束減薄系統(PIPS)

離子束減薄系統(PIPS)

技術員:

陳學人

連絡電話:

02-33661348

所在位置:

工綜B24室

特性:

  1. 以氬氣離子減薄材料進行TEM試片製作
  2. 離子加速電壓 :100V~8kV
  3. 離子束入射角度 ± 10度。