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聚焦離子束與電子束顯微系統(Focused Ion Beam and Electron Beam System)

聚焦離子束與電子束顯微系統(Focused Ion Beam and Electron Beam System)

負責老師：

高振宏

技術員：

陳曉萱

連絡電話：

02-33661350

所在位置：

工綜130室

特性：

  1. 各式樣品之定點縱剖面切割與微結構觀察。
  2. 穿透式電子顯微鏡(TEM)樣品製作。
  3. 本系統安裝OmniprobeTM 200試片汲取裝置，可於試片切割後，將其安全快速地黏著於銅環上，相較於傳統吸針系統中，將試片置於碳膜銅網上，黏著於銅環支柱上的TEM試片可以重複進行修飾，並且在TEM觀察時可以避免碳膜背景的干擾。