聚焦離子束與電子束顯微系統(Focused Ion Beam and Electron Beam System)

聚焦離子束與電子束顯微系統(Focused Ion Beam and Electron Beam System)

技術員:

陳曉萱

連絡電話:

02-33661350

所在位置:

工綜130室

特性:

  1. 各式樣品之定點縱剖面切割與微結構觀察。
  2. 穿透式電子顯微鏡(TEM)樣品製作。
  3. 本系統安裝OmniprobeTM 200試片汲取裝置,可於試片切割後,將其安全快速地黏著於銅環上,相較於傳統吸針系統中,將試片置於碳膜銅網上,黏著於銅環支柱上的TEM試片可以重複進行修飾,並且在TEM觀察時可以避免碳膜背景的干擾。