特性:
英文名稱:Philips Tecnai F30 Field Emission Gun Transmission Micro-scope (FEG-TEM), EDAX Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (EDS)
英文簡稱:FEG-TEM + EDS
- 可進行材料試樣微區影像分析,包含收集高解析影像、明視野像、暗視野像、電子繞射圖樣以及EDX微區定性/半定量成分分析。
- 配有高角度環場暗視野像偵測器,可收集Z對比之微區影像,搭配EDX可以進行EDX Mapping以及EDX line-scan 。
- 本設備加裝有Gatan Image Filter ,能夠收集微區結構之電子能量損失能譜,進行成分分析,並透過能譜收集電子能量過濾影像,獲得微區成分Mapping影像。